Bulk Gas

半导体电子气体通常分为高纯度大宗气体和电子特气。事实上，对于一个眞型的品圆厂来说，高纯度气体是仅次于硅本身的最大材料支出。随着临界尺寸的下降，半导体器件变得越来越精密。在单个原子的位置很重要的世界中,容错阈值非常严格。因此,现代半导体工艺要求工艺气体具有尽可能高的纯度。

另一方面，由于其精密程度的提升，芯片厂对车间的空气沽净度也提出了更加苛刻的要求，先进的制程工艺中甚至对单个工艺环境都会有单独的空气净化系统。半导体车间的洁净度一般会按照IS0 14644-1的标准进行分类。在最高级别的洁净室中,每立方米空气中的粒径大于0.1微米的微粒数量必须少于10个。

ST Gas系列折叠滤芯

ST Gas系列折叠滤芯过滤层采用双层疏水性聚四氣乙烯(PTFE)滤膜，精度3纳米9LRV拦截效率已验证，理论拦截极限精度1.5纳米，可满足微电子行业中对气体的过滤要求，天然疏水性，流通量大、压差低，特别适用于液品显示器和半导体制造工艺中的工艺气体以及使用点气体精密过滤。

■产品规格

长度:10”，20”，30”，40

外径:69mm

精度:3nm

■结构材质

滤材:PIFE

外壳/中心杆/端盖:PP

密封圈:三元乙丙橡胶、氟橡胶、包氟橡胶

131气体系列折叠滤芯

131气体系列PTFE折叠滤芯由疏水聚四氟乙烯(PTFE)滤膜折叠而成，PTFE滤膜具有极好的耐化学、腐蚀性能及疏水性，空气过滤精度可达3n，双层的工艺结构，相比于单层滤膜工艺来说，效率更高、更可靠，更好的满足客户高要求，100%6出厂前完整性测试确保产品质量。

产品规格

长度:10"

外径:131mm

精度:3nm

■结构材质

滤材:PIFE

外壳/中心杆/端盖:PP

密封圈:三元乙丙橡胶、氟橡胶、包氟橡胶

超高效过滤器

Darlly无隔板超高效过滤器，体积小，过滤面积大，低阻高效，容尘量大，可以满足当今空气净化对各种空间、重量和能耗的严格要求，适用于半导体车间洁净室新风空调系统，无尘车间送风口末级过滤，保证生产过程的正常运行，提高良率。