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上海平润智能科技有限公司——半导体核心辅助装备国产化先锋

在半导体制造领域，工艺环境的纯净度直接决定着芯片的性能与良率。作为国内领先的半导体辅助设备与材料供应商，专注于为晶圆制造提供高标准的国产化解决方案。我们以材料科学创新为基础，以精密制造能力为支撑，构建了覆盖气体/液体纯化、载具净化、光刻环境控制，制程辅助设备、制程化学品的完整产品矩阵，助力中国半导体产业链实现关键环节的自主可控。

在气体纯化领域，我们开发的PPT级纯化系统可实现9N级超高纯度气体纯化支持光刻制程。在液体过滤和纯化领域，采用自主知识产权的多级过滤技术，颗粒截留精度可达1nm以下，完全满足先进制程需求。针对光刻工艺环境控制，我们创新研发了超高精度UPW纯化系统，可实现高高标准严要求的温度压力电阻值稳定控制，为IMMERSION 光刻机提供理想的工作环境。

在载具净化方面，我们特有的净化技术可将传输载具的AMC污染控制在PPT级别，配合智能化的在线监测系统，确保晶圆和光罩在传输过程中的洁净度，同时大幅延长Q-time。制程化学品方面，通过与合作单位的原材料研发和超纯合成工艺，我们已实现研磨液、蚀刻液、特种光刻气体等关键化学品的国产化替代，产品性能达到国际先进水平。

公司控股工厂建有万级到百级洁净厂房和智能化生产线，配备先进的检测设备和质量控制系统。通过引入生产自动化技术，实现了从研发设计到生产制造的全流程数字化管理。我们组建了由材料学、化学工程、精密机械等多学科专家组成的研发团队，与多家知名高校和科研院所建立了长期合作关系。

公司产品已广泛应用半导体制造工厂多个领域，服务客户包括中芯国际、华虹集团等国内主流晶圆厂。未来，将继续深耕半导体辅助设备与材料领域，通过持续的技术创新和产品升级，为全球半导体产业提供更优质的中国解决方案。我们将始终秉持"专注、革新、共赢"的理念，与产业链伙伴携手并进，共同推动中国半导体产业的蓬勃发展。