臭氧气体输送系统
Applications of O3 products for Semiconductor
Ozone Generator
臭氧发生器的核心原理：
基于电晕放电（Corona Discharge），在高压电场下，氧气分子通过高能电子撞击分解为氧原子（O）并重组生成臭氧（O₃）。
臭氧气体输送系统基本介绍
ODS (Ozone Delivery System) Applications：
CVD TEOS/O3
ALD High-K
ODS FLOW SHEET
特点：大流量/高浓度
1进1出，最多4EA Generator 并联
N2 可选
主要应用：Memory
特点：1进多出 Type
1~4路O3出口可选，流量/浓度/压力单独控制
N2 可选
主要应用：Logic
ODS Outline
ODS Part Number
ODS Ozone Generator Curve
Different colors mean different generator models.
400g/m3 model is also available to fit specific customer needs.
You can select suitable model depend on your requirement.
Normally we will use GRF-RC to meet CVD/ALD process requirements.
(12.5% ≈ 180g/m3 @5000sccm)
ODS Configurations
ODS Features
Ozone Related Service
